科技日报讯 (记者陈瑜)高性能耳温枪、额温枪等非触摸式测温东西是当时对大规模人员进行发热筛查的首要东西之一，其核心部件MEMS(微机电体系)红外温度传感器长时间首要依靠进口。近来，我国兵器工业集团电子院华东光电集成器材研究所经过技能攻关，已完结传感器芯片各类单项实验，性能指标精度到达0.1℃，抗干扰才能优于现在市场主流产品(性能指标精度为0.3℃)。

　　因疫情防控、复工复产需求，高性能耳温枪和额温枪等非触摸式人体测温东西MEMS红外传感器有了上百万颗的订购需求。华东光电集成器材研究所自1月底紧迫调整产品研发方案，提早复工复产，组成党员突击队和技能攻关小组，24小时不间断轮班展开研发作业，现在已完结传感器芯片各类单项实验，估计在3月底完结芯片样品研发。一起该所还收购全自动化组封装关键设备、弥补芯片制作的关键设备，推进传感器芯片制作、组封装的国产化，月产能从现在的2万颗提升到100万颗以上，4月初可很多投放市场。

　　作为国家发改委MEMS国家当地联合工程实验室和兵器工业集团微体系制作技能创新中心，华东光电集成器材研究所具有MEMS传感器芯片规划、制作、封装、测验等完好的科研才能，经过技能创新获得MEMS传感器多项技能成果，下一步将开发相关测温产品，满意疫情防控、复工复产等高精度人体测温需求。