日前，我国机械工业集团公司所属沈阳外表科学研究院（沈阳外表院）自主研制的“MEMS硅基压力灵敏芯片批产工艺技术”项目科研成果经专家判定，达到了国内抢先、世界抢先水平，填补了我国自主批量生产硅基压力灵敏芯片的空白。

　　作为压力传感器的核心部件，MEMS硅基压力灵敏芯片是决议压力传感器功能的要害。该项目建立了国内专一一条具有自主产权的、选用MEMS工艺批量生产硅基压力灵敏芯片的生产线万只芯片，并同步完成批产工艺规范及产品企业规范的拟定作业。该产品不只代替进口，还配套量产了多类硅基压力传感器，可大规模的使用在航空航天、石油化学工业、水电、冶金制作、医药卫生、食物加工及城市给排水等范畴，取得了杰出的经济效益与社会效益，累计新增产量3500多万元。